超高溫臺式多氣氛實驗爐TE系列的特點
這是一款臺式超高溫多氣氛實驗爐,可處理氮氣、氧氣、氦氣、氬氣、氫氣等各種氣氛。
C/C復合加熱器 | 最高2000°C |
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碳化硅3涂層加熱器 | 最高1600°C |
TiC3涂層加熱器 | 最高2100°C |
TE系列超高溫臺式多氣氛實驗爐“熱邊"電爐從抽真空、吹掃到排氣的操作是PLC半自動式的。 沒有手動打開和關(guān)閉閥門等復雜操作,并且可以通過觸摸面板進行集中管理。
臺式緊湊,您可以有效利用實驗室的有限空間。
三種類型的爐子加熱器/絕緣材料擴大了碳爐的應用范圍。
C/C復合加熱器
SiC3(碳化硅)涂層加熱器
TiC3(碳化鈦)涂層加熱器
多功能功能集成在緊湊的機身中
節(jié)省空間:889(闊)x 503(深)x 629(高)mm
圓柱形加熱器(用于坩堝)、平面加熱器(用于晶圓燒制)
聯(lián)鎖(冷卻水、腔室表面溫度/加熱器過溫、真空度、腔室打開/關(guān)閉)
PLC半自動操作:(抽真空/吹掃x 3循環(huán)排氣)
觀察視口(可選)
編程溫度控制器、觸摸屏 HMI、數(shù)字真空計和加熱器斷路器軟件等顯示器緊湊地安裝在前操作面板上。
● 溫度控制器:Eurotherm“nanodaq"或RKC PF900 ● 數(shù)字真空計:MKS微型皮拉尼壓力計
● 觸摸屏:西門子SIMATEC HMI(或三菱)
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