潔凈室內(nèi)是否有大于5μm的粉塵？

發(fā)布日期：2023-06-06      瀏覽次數(shù)：519

潔凈室內(nèi)是否有大于5μm的粉塵？

粒子計(jì)數(shù)器的評估有限制。
潔凈室和潔凈室的評估通常使用粒子計(jì)數(shù)器。 這是因?yàn)槟繕?biāo)微小粒子是不可見的。 然而，典型粒子計(jì)數(shù)器的最大粒徑為5μm。 實(shí)際上，5μm~100μm的范圍肉眼是不可見的，但實(shí)際上，顆粒計(jì)數(shù)器并不清楚這個范圍內(nèi)是否有灰塵。

5μm以上的垃圾堆積

在潔凈室中看不見的灰塵中，真正麻煩的是尺寸小于1μm的微觀顆粒。 這是因?yàn)樗粫肋h(yuǎn)落在地上，而是漂浮，并被這里和那里的人的運(yùn)動所吸引。

然而，潔凈室技術(shù)的進(jìn)步使得控制這種微量廢物相對容易。 HEPA過濾器是其中的核心。 去除超過 99.97% 大于 0.3 μm 的顆粒。 潔凈室通過該HEPA過濾器以及氣流，正壓，通風(fēng)等的作用去除微小的碎屑。 

然而，5~100μm的垃圾幾乎肉眼看不見，而是在氣流上漂流，而是下落并堆積。 如果你把它放在無人看管的地方，潔凈室的內(nèi)部會在你不知不覺中充滿垃圾。

然后，在某些時候，它會粘附在工件上并導(dǎo)致缺陷。 

對5μm以上的垃圾有效清洗

事實(shí)上，我們早就知道這一點(diǎn)。 例如，在半導(dǎo)體工廠中，地板通常具有光柵結(jié)構(gòu)，這樣垃圾就不會積聚在地板上，而垃圾會掉落在地板下。 此外，潔凈室的四個原則是“不堆積"和“清除"。 清潔是處理這種大小的垃圾的有效方法。 但問題是垃圾是看不見的！

5μm以上的垃圾從何而來？


讓我們在項(xiàng)目符號中列出主要的。 

1.臟空氣從外部進(jìn)入

2. 工人產(chǎn)生粉塵

3. 潔凈室工具和設(shè)備（固定和操作）產(chǎn)生的粉塵

4. 帶入并產(chǎn)生附著在原材料、包裝材料等上的垃圾

5. 無塵室中堆積的垃圾的重新漂浮 我認(rèn)為根據(jù)工藝和工件的特性，還有其他各種原因。最重要的是，只有項(xiàng)目1可以在潔凈室中直接解決。

對于10，000級用戶，更重要的是采取5μm或更大的垃圾防護(hù)措施

10，000級潔凈室用于許多行業(yè)和工藝，但我認(rèn)為有很多情況的共同特征是以后無法去除灰塵，例如“粘貼"，“繪畫"，“印刷"，“氣相沉積"和“粘合"。 并且在許多情況下，與這種良好產(chǎn)品率相關(guān)的垃圾大小為5~100μm。



不要忽視5~100μm的灰塵！

讓我們總結(jié)一下上面的故事。 以萬級環(huán)境為目標(biāo)的粉塵~顆粒，根據(jù)其大小可分為三種類型。 1.有三種類型的可見垃圾，可見尺寸~2.100μm至5μm，不可見尺寸約3.5μm至0.3μm，無法用粒子計(jì)數(shù)器測量。 在一般環(huán)境中，看不到可見的垃圾 2.3. 在潔凈室中，除可見垃圾外，3.可通過潔凈室功能清除微小垃圾。 但是，不容忽視的是5~100μm的灰塵。 如果不通過清潔去除，則潔凈室本身無法將其清除。

讓我們通過垃圾的“可視化"來清除垃圾！

幫助可視化垃圾的工具是極化潔凈室燈。 在良好的條件下，這種光可以在潔凈室中看到多達(dá)約10μm的灰塵。 粘附在潔凈室地板和墻壁上的灰塵，潔凈室的窗簾，潔凈室中漂浮的灰塵，粘附在工件表面的灰塵，工件上的劃痕，例如裂紋，外觀缺陷等。
審查潔凈室清潔真的很容易，這根本不是設(shè)計(jì)出來的，只是按照規(guī)定進(jìn)行的。
使用此燈檢查潔凈室是否清潔。

當(dāng)光線以約45度的角度照射時，附著在無塵室的地板，墻壁，設(shè)備和工件上的微小灰塵似乎漂浮起來。
對于玻璃等透明工件，從背面應(yīng)用也很有效。
但是，另一方面，如果表面形狀很大并且不均勻度漫射和反射光線，則無法看到狀況良好的情況。 （人體、噴砂、著色塑料、涂漆等）。



使用Polarion潔凈室燈進(jìn)行“可視化"

一旦你可以“檢查當(dāng)前情況"“對策"

極化潔凈室燈?型號：NP-1?是C的潔凈室燈系列中使用HID光源的強(qiáng)大的手持燈。

如果條件良好，您可以在清潔規(guī)則中看到約10μm的灰塵。 它還突出顯示了潔凈室中的漂浮物，粘附在地板，墻壁，窗簾和潔凈室工件上的污垢，劃痕等。 它是清潔不可少的物品。