半導(dǎo)體制造過(guò)程中曝光過(guò)程的控制用紫外線(xiàn)傳感器UV-300K介紹分析

發(fā)布日期：2024-10-28      瀏覽次數(shù)：131

半導(dǎo)體制造過(guò)程中曝光過(guò)程的控制用紫外線(xiàn)傳感器UV-300K介紹分析

用于生產(chǎn)線(xiàn)的高性能紫外線(xiàn)傳感器 由高度耐用的紫外-可見(jiàn)波長(zhǎng)轉(zhuǎn)換玻璃制成
持續(xù)監(jiān)測(cè)是否有一定量的光線(xiàn)照射在其上的紫外線(xiàn)傳感器。您可以監(jiān)控?zé)襞堇匣闆r和不亮燈情況，并適當(dāng)管理燈泡更換。
通過(guò)反饋燈的光強(qiáng)度變化來(lái)穩(wěn)定光強(qiáng)度。
配備兩種工作模式：光強(qiáng)模式和積分模式。另外，模擬輸出標(biāo)配電壓1～5V/電流4～20mA。此外，還配備了通過(guò)示教設(shè)置靈敏度和應(yīng)答功能。






使用示例

• 曝光設(shè)備

  

•  

• 滅菌、殺菌

  




使用目的

紫外線(xiàn)傳感器廣泛用于多種用途，包括工業(yè)過(guò)程控制、質(zhì)量控制、安全改進(jìn)、效率和環(huán)境保護(hù)。

• 半導(dǎo)體制造設(shè)備：半導(dǎo)體制造過(guò)程中曝光過(guò)程的控制

• 水處理：水殺菌、殺菌過(guò)程中紫外線(xiàn)的管理

• UV 固化：使用 UV 固化粘合劑進(jìn)行過(guò)程控制

• 照明：磁粉探傷中紫外光的監(jiān)測(cè)

• 印刷：驗(yàn)證紫外線(xiàn)是否正確固化油墨和涂料

• 空氣凈化：食品工廠等紫外線(xiàn)空氣凈化的光強(qiáng)度控制。

• 薄膜：表面改性的紫外線(xiàn)管理

放大器本體規(guī)格

格式	紫外-300K
運(yùn)行指示燈	紅色LED（檢測(cè)輸出ON時(shí)亮起）
測(cè)量光量范圍*	UV-T254、UV-T365、UV-L、UV-S [254nm] 0.1 至 30mW/cm2，使用高靈敏度頭時(shí)：0.01 至 3mW/cm2 [365nm] 3 至 900mW/cm2，使用高靈敏度頭時(shí)光頭：0.3~90mW/cm2 UV-T405 [405nm] 300~9,000mW/cm2
外部示教輸入 外部復(fù)位輸入	ON：0~1.5V（0V短路電流1mA以下） OFF：開(kāi)路或4~30V
光量值顯示（相對(duì)值）	3位LED 光強(qiáng)模式：0-125% 積分模式：0-200%
檢測(cè)輸出 應(yīng)答輸出	NPN集電極開(kāi)路（DC30V、100mA以下）
模擬輸出	電壓/電流切換 1~5V (0~100%, 6V/125%) 4~20mA (0~100%, 24mA/125%)
檢測(cè)輸出 閾值設(shè)置	通過(guò)開(kāi)關(guān)以 1% 為單位進(jìn)行設(shè)置 光強(qiáng)度模式：10 至 100% 積分模式：10 至 200%
靈敏度設(shè)置	示教（設(shè)置為100%值） 最小靈敏度、最大靈敏度、零點(diǎn)設(shè)置
電纜	0.15mm2 屏蔽7芯 橡膠電纜 φ5.5mm x 2m
重復(fù)性	±2%FS以下
溫度漂移	0.1%FS/℃以下
使用環(huán)境	溫度：-25~+55℃/35~85%RH（不凝露、不結(jié)冰）
電源電壓	DC12~24V±10%（紋波P-P10%以下）
響應(yīng)時(shí)間	300ms以下
消耗電流	50mA以下（不包括輸出電流）
大量的	約140克

* 254nm：Oak Manufacturing UV-M02 (UV-25) 365nm：Ushio Inc. UIT-101 (UVD-365PD) 405nm：Oak Manufacturing UV-42

傳感頭規(guī)格

格式※	紫外-T405	紫外-T365	紫外-T254	紫外線(xiàn)	紫外光
特征	耐熱			長(zhǎng)袖	短袖
監(jiān)測(cè)波長(zhǎng)范圍	200~330nm、360~420nm、455~476nm、517~600nm	300~380nm	170~380nm
溫度漂移	-0.3%/℃以下(at254nm) -0.1%/℃以下(at365nm) -0.06%/℃以下(at405nm)	-0.1%/℃以下
使用環(huán)境	溫度：-40~+300℃/ 35~85% RH（不凝露、不結(jié)冰）			溫度：-40~+150℃/ 35~85% RH（不凝露、不結(jié)冰）
材料	紫外可見(jiàn)波長(zhǎng)轉(zhuǎn)換玻璃，SUS
配件	M6螺母、墊圈

* UV-T365和UV-T254具有高靈敏度頭UV-T365W和UV-T254W。

導(dǎo)光板規(guī)格

格式	紫外光	紫外線(xiàn)F
特征	耐熱	自由剪裁
使用環(huán)境	溫度：-40~+300℃/ 35~85% RH（不凝露、不結(jié)冰）	溫度：-40~+70℃/ 35~85% RH（無(wú)凝露、無(wú)凍結(jié)）
儲(chǔ)存溫度	-40～+70℃
全長(zhǎng)	2m（帶防紫外線(xiàn)管）	2m（前端有1m紫外線(xiàn)防護(hù)管）
材料	多組分玻璃，SUS	丙烯酸、聚乙烯、SUS

*放大器插入部分的耐熱溫度為+70℃

外觀圖

• 放大器 [UV-300K]

  

•  

• 耐熱傳感頭[UV-T254、T405（無(wú)黑玻璃）/UV-T365]

  

•  

• 傳感頭[UV-S(L=50±1)/UV-L(L=100±1)]

  

•  

• 光導(dǎo) [UV-H（上）/UV-F（下）]