SF6氣體露點管理檢測設(shè)備-MBW973-SF6

發(fā)布日期：2021-05-27      瀏覽次數(shù)：942

SF6氣體露點管理檢測設(shè)備-MBW973-SF6



密封的露點/純度測量裝置，不泄漏SF6

 

特征

• 抽查
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• SF6氣體露點管理
• 氣體變壓器/氣體斷路器
• 氣體絕緣開關(guān)柜
• 半導(dǎo)體和液晶面板的干法蝕刻工藝
• SF6氣體回收再利用
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主要用途

• SF6純度/變壓器/氣體斷路器的露點測量

 

環(huán)保測量儀

SF6（六氟化硫）氣體是一種溫室氣體，其減排目標是由《京都議定書》設(shè)定的，據(jù)說其溫室效應(yīng)約為每單位體積CO 2的23,400倍。SF6氣體在斷路器，變壓器，半導(dǎo)體工藝等中用作絕緣氣體，水分和SF6純度的測量對于保持絕緣度bi不可少。
另一方面，迄今為止，在日本，在測量時將其釋放到大氣中或不進行釋放就以高成本進行收集和分解的做法一直是日本的慣例。通過使用MBW973-SF6，可以將測得的SF6氣體返回到原始設(shè)備，而無需釋放到大氣中，并且可以將釋放到大氣中的氣體減少到零。

高精度測量

迄今為止，由于電容類型易于獲取，因此已被廣泛使用。另一方面，MBW973-SF6的露點和純度測量均采用高精度鏡型，因此可以分別以±0.5°C和0.5％的精度進行高精度測量，響應(yīng)速度快，幾乎不需要隨著時間的流逝而惡化。通過使用該裝置，可以大大減少操作者的工作時間，并且可以容易地進行可靠的測量。

SO 2測量選項

SF6氣體通過與水反應(yīng)來凈化HF氣體和SO 2氣體。MBW973-SF6可以測量0-100ppm或0-500ppm范圍內(nèi)的SO 2。該傳感器使用電化學(xué)電池，并且可以以滿量程的±2％的精度進行測量。