日本napson非接觸式渦流法電阻測(cè)量儀EC-80

產(chǎn)品特點(diǎn)

• 簡單的測(cè)量儀器，只需將樣品插入探針之間即可進(jìn)行測(cè)量
• 在電阻/薄層電阻測(cè)量模式之間輕松切換
• 使用JOG撥盤輕松設(shè)置測(cè)量條件
• *由于探頭是固定的，因此您可以在購買前從幾種類型的探頭中選擇一種。

測(cè)量規(guī)格

測(cè)量目標(biāo)

半導(dǎo)體/太陽能電池材料相關(guān)（硅，多晶硅，SiC等）
新材料/功能材料相關(guān)（碳納米管，DLC，石墨烯，銀納米線等）
導(dǎo)電薄膜相關(guān)（金屬，ITO等）
硅基外延，離子與
半導(dǎo)體相關(guān)的進(jìn)樣樣品化合物（GaAs Epi，GaN Epi，InP，Ga等）
其他（*請(qǐng)與我們聯(lián)xi）

測(cè)量尺寸

?8英寸，或?156x156mm

日本napson非接觸式渦流法電阻測(cè)量儀EC-80

測(cè)量范圍

[電阻] 1m至200Ω·cm
（*所有探頭類型的總范圍/厚度500um）
[抗頁電阻] 10m至3kΩ / sq
（*所有探頭類型的總范圍）

*有關(guān)每種探頭類型的測(cè)量范圍，請(qǐng)參閱以下內(nèi)容。
（1）低：0.01至0.5Ω/□（0.001至
0.05Ω- cm）（2）中：0.5至10Ω/□（0.05至0.5Ω-cm）
（3 ））高：10至1000Ω/□（0.5至60Ω-??cm）
（4）S-高：1000至3000Ω/□（60至200Ω-cm）