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更新日期:2024-03-18
簡要描述:
日本horiba非接觸式化學(xué)濃度監(jiān)測儀CS-900下一代濕法HORIBA通過控制化學(xué)藥品濃度來提高產(chǎn)量并優(yōu)化工藝。為了在半導(dǎo)體制造過程中遵守嚴格的化學(xué)濃度控制,我們實現(xiàn)了滿足現(xiàn)場需求的z佳功能,例如穩(wěn)定的測量精度,考慮到工作安全性的*管道固定結(jié)構(gòu)以及緊湊的設(shè)計。
品牌 | 其他品牌 | 儀器種類 | 便攜式 |
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產(chǎn)地 | 進口 |
日本horiba非接觸式化學(xué)濃度監(jiān)測儀CS-900
為了在半導(dǎo)體制造過程中遵守嚴格的化學(xué)濃度控制,我們實現(xiàn)了滿足現(xiàn)場需求的z佳功能,例如穩(wěn)定的測量精度,考慮到工作安全性的*管道固定結(jié)構(gòu)以及緊湊的設(shè)計。
外部直接連接到PFA管道的*傳感器結(jié)構(gòu)消除了污染的風(fēng)險。此外,它消除了安裝傳感器時的管道工作需求,并消除了化學(xué)泄漏等事故的風(fēng)險。此外,通過更新傳感器的光學(xué)系統(tǒng),我們實現(xiàn)了小型化,同時保持了與常規(guī)產(chǎn)品(CS-600F * 1)相同的可重復(fù)性和穩(wěn)定性。
高質(zhì)量和穩(wěn)定的測量
Contami風(fēng)險為“零"
重現(xiàn)性和穩(wěn)定性相當于傳統(tǒng)產(chǎn)品CS-600F * 1
糾正由于液溫變化而引起的顯示器讀數(shù)變化
采用HORIBA獨chuang的算法來糾正氣泡的影響
抑制振動效果
采用HORIBA獨chuang的光學(xué)系統(tǒng)結(jié)構(gòu),可防止管道固定和未對準
節(jié)省空間
將光源和光譜儀集成到電池單元中
顯示器使用面板安裝類型(9.6厘米x 9.6厘米)
延長光源壽命
采用LED燈,使用壽命更長(5年保修)
改善工作安全
半年一次的BG校正周期
由于安裝傳感器時無需安裝管道,因此降低了發(fā)生化學(xué)泄漏等事故的風(fēng)險。
* 1 CS-600F是HORIBA的光纖型化學(xué)濃度監(jiān)測儀。
■穩(wěn)定性
測量條件
測量周期:每3秒測量時間:1小時
移動平均值:16次溫度:室溫管徑:3/4英寸
樣品濃度(在測量開始時)
NH 3:0.95%H 2 O 2:5.15%H 2 O :93.9%
測量結(jié)果作為
樣品(實際溶液)的1小時的測量結(jié)果,顯示出良好的穩(wěn)定性。
日本horiba非接觸式化學(xué)濃度監(jiān)測儀CS-900
產(chǎn)品名稱 | 非接觸式化學(xué)濃度監(jiān)測儀CS-900 | ||||
模型 | CS-900 | ||||
測量原理 | 吸收光譜 | ||||
濃度計算方法 | 溫度補償多元分析方法 | ||||
測量范圍/ | 型號名稱 | 成分名稱 | 測量范圍 | 重現(xiàn)精度 | 模擬量輸出范圍 |
CS-900-1P-1P25P5 | NH 3 | 0.00%-1.20% | ±0.05% | 0.00-10.00 | |
H 2 O 2 | 0.00%-5.50% | ±0.10% | 0.00-10.00 | ||
高氧2 | 93.3%-100.0% | ±1.0% | --- | ||
CS-900-1P-P8P8 | NH 3 | 0.20%-0.80% | ±0.03% | 0.00-1.00 | |
H 2 O 2 | 0.20%-0.80% | ±0.03% | 0.00-1.00 | ||
高氧2 | 98.4%-99.6% | ±0.3% | --- | ||
測量條件 | 1)測量周期:大約3秒 | ||||
管道* 1 | PFA管道1英寸或3/4英寸 | ||||
樣品溶液條件* 2 | 化學(xué)溶液溫度:20-80°C化學(xué) | ||||
電源供應(yīng) | DC24V | ||||
消耗功率* 3 | 約30W | ||||
大眾 | 顯示:約0.9Kg | ||||
外形尺寸(寬x深x高) | 顯示:96 x 135 x 96 mm | ||||
傳感器單元安裝角度 | 前后方向:±3度以內(nèi),左右方向:0-90度 | ||||
光源壽命 | 5年 | ||||
通訊 | 并行I / O,RS-232C,模擬輸出 |