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日本hu-brain圓晶/芯片外觀品質(zhì)檢測(cè)設(shè)備

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更新日期:2024-03-18

簡(jiǎn)要描述:

日本hu-brain圓晶/芯片外觀品質(zhì)檢測(cè)設(shè)備
可以高速且高精度地檢查在晶片工藝和切割工藝中出現(xiàn)的外觀缺陷。
可以檢查各種圖案的芯片。
對(duì)于每種產(chǎn)品類型,可以使用可變的圖像分辨率(1.5至5 µ)進(jìn)行檢查。

日本hu-brain圓晶/芯片外觀品質(zhì)檢測(cè)設(shè)備

日本hu-brain圓晶/芯片外觀品質(zhì)檢測(cè)設(shè)備

 

晶圓或切塊后高速檢查芯片外觀

  • 可以高速且高精度地檢查在晶片工藝和切割工藝中出現(xiàn)的外觀缺陷。
  • 可以檢查各種圖案的芯片。
  • 對(duì)于每種產(chǎn)品類型,可以使用可變的圖像分辨率(1.5至5 µ)進(jìn)行檢查。
  • 可以使用嵌入式顯微鏡以亞微米分辨率進(jìn)行檢查。(選項(xiàng))
  • 可以根據(jù)圖像特征的復(fù)雜條件對(duì)缺陷進(jìn)行分類。
  • 一次可以使用多種配方(不同的圖像分辨率,照明,判斷程序)進(jìn)行檢查。
  • 配備由自動(dòng)裝載機(jī)連續(xù)提供的高速NG排屑機(jī)構(gòu)。
  • 即使厚度公差為150 µm的工件也可以檢查并消除。(具有高速高度測(cè)量和高度校正功能)
  • 有一個(gè)檢查功能,用于排除所有錯(cuò)誤和標(biāo)記錯(cuò)誤。(選項(xiàng))
  • 可以通過紙張進(jìn)行背面檢查。(選項(xiàng))
  • NG標(biāo)記(墨/激光標(biāo)記),條形碼可以自動(dòng)讀取。(選項(xiàng))
  • 還有HS-256G,它是一種低價(jià)類型,沒有自動(dòng)裝帶器或排除機(jī)制。

檢查對(duì)象

  • 半導(dǎo)體芯片,例如LED芯片和激光芯片(芯片尺寸:100 µm?,與各種圖案兼容)
  • 晶圓尺寸:2到8英寸(在z大210毫米的檢查范圍內(nèi))
  • 兼容各種戒指和錄音帶

檢查項(xiàng)目

劃片不良(寬度/碎裂)?電極尺寸(突出/碎裂/多余
/不足的區(qū)域) ·電極劃痕/污垢·變色·各個(gè)部分劃痕/污垢

日本hu-brain圓晶/芯片外觀品質(zhì)檢測(cè)設(shè)備

特點(diǎn)

  • 由于工件在XY工作臺(tái)上移動(dòng)并且在一個(gè)視場(chǎng)中檢查了多個(gè)切屑,因此可以執(zhí)行有效的檢查。
  • 檢查判斷使用二進(jìn)制特征(長(zhǎng)度,面積,周長(zhǎng),凸度,蓬松度等)和灰色特征(每個(gè)通道的亮度,偏差,范圍等),并使用多個(gè)條件表達(dá)式對(duì)缺陷項(xiàng)進(jìn)行分類。
  • 與用于分類器的MAP文件一起,輸出顯示每個(gè)缺陷項(xiàng)目的判斷結(jié)果的文件。
  • 您可以在檢查時(shí)保存圖像。

處理能力

  • 目視檢查時(shí)間:分辨率為2.5 µ /配方時(shí)(使用2英寸晶圓時(shí))約為1.5到4分鐘
  • 消除時(shí)間:3到6芯片/秒(取決于芯片尺寸,紙張類型和條件等條件)
  • 標(biāo)記時(shí)間:墨輪打碼時(shí)間為3-4芯片/秒,
    激光打標(biāo)機(jī)為10芯片/秒(某些芯片不適用于激光打標(biāo)機(jī))

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