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單組分密度計(jì)

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更新日期:2024-03-19

簡(jiǎn)要描述:

日本富士工業(yè)fuji單組分密度計(jì)FUD-1 Model-130
該模型在保持FUD-1 Model-13的優(yōu)勢(shì)(例如可維護(hù)性和高精度的在線測(cè)量)的同時(shí),還具有用于半導(dǎo)體制造過程的小型單元變送器。

單組分密度計(jì)
類型其他測(cè)量范圍10um

日本富士工業(yè)fuji單組分密度計(jì)FUD-1 Model-130

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該模型在保持FUD-1 Model-13的優(yōu)勢(shì)(例如可維護(hù)性和高精度的在線測(cè)量)的同時(shí),還具有用于半導(dǎo)體制造過程的小型單元變送器。

單組分密度計(jì)的特點(diǎn)

可以進(jìn)行實(shí)時(shí)濃度測(cè)量,并且很容易建立濃度控制系統(tǒng)。

  • 配備模擬DC 4至20mA和數(shù)字RS232C作為標(biāo)準(zhǔn)設(shè)備
  • 標(biāo)配測(cè)量誤差輸出和報(bào)警輸出
  • 配備自診斷功能和錯(cuò)誤信息顯示為標(biāo)準(zhǔn)配置
  • 小巧輕便的電池式變送器可以直接安裝在生產(chǎn)線上
  • 由于使用PFA的潤(rùn)濕部件的質(zhì)量和小產(chǎn)量設(shè)計(jì),因此對(duì)化學(xué)溶液沒有影響。?

優(yōu)點(diǎn)

  • 高精度連續(xù)測(cè)量
  • 免維護(hù),無(wú)需定期調(diào)整和校準(zhǔn)
  • 易于安裝,無(wú)需在安裝過程中進(jìn)行各種調(diào)整
  • 通過實(shí)時(shí)輸出輕松反饋到過程?

用途

  • CMP過程中的CMP漿料或氧化劑濃度控制等
  • 控制稀釋過程中各種化學(xué)品的濃度(H2O2,TMAH,HNO3,H2SO4,HCl等)
  • 清潔過程中的清潔液濃度控制(HF,NH4OH,KOH,IP

?日本富士工業(yè)fuji單組分密度計(jì)FUD-1 Model-130

規(guī)格

格式FUD-1模型13
測(cè)量參數(shù)超聲波傳播速度/溫度
展示LCD(濃度/溫度/聲速/各種參數(shù))
輸出信號(hào)模擬DC4至20mA(可以自由設(shè)置濃度值)
數(shù)字RS232C(濃度/溫度/聲速/錯(cuò)誤代碼)
警報(bào)上/下限測(cè)量錯(cuò)誤
電源供應(yīng)AC100V-240V 50 / 60Hz(也可以使用DC24V)
建造面板安裝類型(符合DIN標(biāo)準(zhǔn)),板載安裝類型(可以選裝在防雨箱中)
環(huán)境溫度0至50°C相對(duì)濕度85%以下(無(wú)冷凝)
0至100°C特殊規(guī)格-10至160°C(100°C寬度)
功能輸出范圍設(shè)置,警報(bào)輸出設(shè)置,濃度顯示移動(dòng)平均值,濃度顯示偏移和增益設(shè)置功能,自診斷功能,故障保護(hù)功能,異常值取消
RS485輸出(不能與RS232C同時(shí)輸出)
選項(xiàng)溫度輸出(DC4-20mA)
渠道高達(dá)10ch
兼容發(fā)射器型號(hào)13  SA-20S26 / SA-20S27 / SA-20M5

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