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日本shinkuu全自動(dòng)φ100mm金屬鍍膜設(shè)備

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更新日期:2024-03-21

簡(jiǎn)要描述:

日本shinkuu全自動(dòng)φ100mm金屬鍍膜設(shè)備MSP-20MT
該裝置是在電子顯微鏡樣品上涂敷貴金屬薄膜并進(jìn)行導(dǎo)電處理的裝置。配備4英寸靶材,可在大樣品上鍍膜,具有無(wú)需復(fù)雜操作程序的可操作性。

日本shinkuu全自動(dòng)φ100mm金屬鍍膜設(shè)備

日本shinkuu全自動(dòng)φ100mm金屬鍍膜設(shè)備MSP-20MT

該裝置是在電子顯微鏡樣品上涂敷貴金屬薄膜并進(jìn)行導(dǎo)電處理的裝置。配備4英寸靶材,可在大樣品上鍍膜,具有無(wú)需復(fù)雜操作程序的可操作性。

日本shinkuu全自動(dòng)φ100mm金屬鍍膜設(shè)備MSP-20MT

主要產(chǎn)品規(guī)格

物品規(guī)格
電源AC100V,15A
3芯插頭帶地線
設(shè)備機(jī)身尺寸寬 350 毫米 x 深 440 毫米 x 高 350 毫米
(設(shè)備重量 20 公斤)
旋轉(zhuǎn)泵排氣速度50?/min (GLD-051)
(重量14.6kg)
樣品室尺寸內(nèi)徑 149 毫米 x 高 82 毫米(硬玻璃)
電極樣品臺(tái)間距50mm
樣品臺(tái)Φ100mm
可安裝的樣品尺寸> Φ100mm(可安裝尺寸Φ130mm)
高度35mm
飛濺靶金屬規(guī)格Φ100 mm(有效直徑98 mm),厚度0.1 mm
Au、Pt、Pt-Pd、Pd、Ag
大氣氣體Air(空氣)或 Ar(氬氣)



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