品牌 | 其他品牌 | 產(chǎn)地 | 進(jìn)口 |
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冷卻方式 | 水冷式 | 儀器種類 | 分體式 |
日本sscooling半導(dǎo)體冷水機(jī)組Nikola 3K/5K
我們專為半導(dǎo)體加工而設(shè)計(jì)的最高容量冷水機(jī)組
3,000 或 5,000 瓦的冷卻能力
±0.05°C 溫度穩(wěn)定性/重復(fù)性
兩種泵選項(xiàng),流量高達(dá) 10 gpm,壓力高達(dá) 100+ psig
減少晶圓間的變化,消除晶圓效應(yīng)
比基于壓縮機(jī)的冷水機(jī)組節(jié)能高達(dá) 80%
采用熱電技術(shù),可靠性高,維護(hù)成本低
模塊化設(shè)計(jì),易于維護(hù)
消除氟利昂和其他有害制冷劑,符合新的環(huán)境法規(guī)
使用更少的設(shè)施水和昂貴的冷卻劑,如氟惰性或高登
通信接口可用于 AMAT、LAM、TEL 和 Hitachi 系統(tǒng)
通用電源 – 插入即可在世界任何地方使用
等離子蝕刻、等離子灰分、計(jì)量、CMP 和其他工藝的解決方案
環(huán)境溫度:
10°C 至 40°C 無冷凝
穩(wěn)定性/可重復(fù)性:
恒定負(fù)載下± 0.05°C(即使在接近環(huán)境溫度時(shí))
制冷量*:
尼古拉 3K:3000 瓦 @ 20°C(20°C 設(shè)施用水) 尼古拉 5K:5000 瓦 @ 20°C(20°C 設(shè)施用水)
冷卻液/工藝流體:
針對氟惰性/高登或HFE流體進(jìn)行設(shè)置
提供可選的乙二醇/水配置
工藝流體接頭:
3/4“ 世偉洛克(316 不銹鋼)
流量:
高達(dá) 10 加侖/分鐘(38 升/分鐘),流量和
壓力可調(diào)(10 至 100 psig)
油箱容積:
10 升(2.6 加侖),帶 2 個(gè)液位傳感器
設(shè)施用水:
25 升/分鐘(6 加侖/分鐘)@ 7-25°C 過濾,處理過的循環(huán)設(shè)施冷卻水,pH 6.5 至 8.2
設(shè)施水配件:
3/4“ 世偉洛克(316 不銹鋼)
N2/CDA(必需):
500 sccm -30°C 露點(diǎn)或更低的 CDA 或 N2,
30-60 psig (2-4 bar),用于低溫操作
接液材料:
工藝:鋁,不銹鋼和聚合物設(shè)施
:密封硬質(zhì)陽極氧化鋁
和不銹鋼
尺寸(寬 x 深 x 高):
22 英寸 x 28 英寸 x 35 英寸(56 厘米 x 71 厘米 x 89 厘米)
電源輸入:
200-240 VAC 3 相,50/60 Hz,最大 20/30 A
斷路器:
20/30 安培 480 VAC 3 極,帶 GFCI
通信:
泛林, 應(yīng)用材料公司, RS232, 其他
警報(bào):
溫度、液位、系統(tǒng)或組件
故障(顯示、干接點(diǎn)和機(jī)器接口)
標(biāo)準(zhǔn):
半 S2-0200,符合 F47 標(biāo)準(zhǔn),CE