訪問(wèn)次數(shù):1102
更新日期:2024-03-21
簡(jiǎn)要描述:
日本shinkuu濺射導(dǎo)電檢測(cè)裝置MSP-20TK該裝置是在電子顯微鏡樣品上涂敷金屬薄膜并進(jìn)行導(dǎo)電處理的裝置。它具有不需要復(fù)雜操作程序的可操作性。
日本shinkuu濺射導(dǎo)電檢測(cè)裝置MSP-20TK
該裝置是在電子顯微鏡樣品上涂敷金屬薄膜并進(jìn)行導(dǎo)電處理的裝置。它具有不需要復(fù)雜操作程序的可操作性。
鎢主要用作靶材,還有許多其他特殊金屬可以鍍膜。
電極采用風(fēng)冷磁控管方式,可實(shí)現(xiàn)特殊金屬的低壓鍍膜。(因?yàn)闅怏w中包含的電子在磁控管中移動(dòng),大大提高了電離效率。)它有助于大幅度減少樣品損壞。
氬氣
二次壓力0.05MPa-0.08MPa,連接1/4英寸Swagelok
?
與鉑粒子(左)相比,鎢粒子(右)非常細(xì)小,支持在高倍率區(qū)域(200,000 倍以上)進(jìn)行觀察。
日本shinkuu濺射導(dǎo)電檢測(cè)裝置MSP-20TK
物品 | 規(guī)格 |
電源 | AC100V, 15A 帶地線 3芯插頭使用3m |
設(shè)備尺寸 | 寬 354,深 368 毫米,高 430 毫米 (設(shè)備重量 22 公斤) |
旋轉(zhuǎn)泵 | 排氣速度50?/min (GLD-051) (重量14.6kg) |
樣品室尺寸 | 內(nèi)徑 149 毫米,深度 126 毫米 |
樣品臺(tái) | Φ47mm浮法 |
目標(biāo)樣本間距 | 50mm-70mm |
可安裝的樣品尺寸 | Φ45mm,高度30mm以下 |
目標(biāo) | W(標(biāo)準(zhǔn))、Mo、Cr、Ni、Cu、Ta、Ti 等 貴金屬靶材(使用磁場(chǎng)抵消 Ni 板) Pt、Pt-Pd、Au、Au-Pd、Pd、Ag |