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更新日期:2024-03-22
簡要描述:
日本ulvac熱陰極電離真空計(jì) ST200-A/R/E這是一個新系列的換能器類型“G-TRAN 系列多離子規(guī)",可以連接不同測量范圍的觸針。本產(chǎn)品為三極管電離真空計(jì),不易失去靈敏度,即使在真空計(jì)的惡劣環(huán)境下也能進(jìn)行更長時間、更準(zhǔn)確的真空測量。
日本ulvac熱陰極電離真空計(jì) ST200-A/R/E
這是一個新系列的換能器類型“G-TRAN 系列多離子規(guī)",可以連接不同測量范圍的觸針。本產(chǎn)品為三極管電離真空計(jì),不易失去靈敏度,即使在真空計(jì)的惡劣環(huán)境下也能進(jìn)行更長時間、更準(zhǔn)確的真空測量。在繼承長壽命、低運(yùn)行成本的理念的同時,我們進(jìn)行了改進(jìn),使其更加人性化。
特征
提高可用性:PC/智能手機(jī)連接可實(shí)現(xiàn)設(shè)定點(diǎn)設(shè)置、狀態(tài)確認(rèn)等。
燈絲壽命通知功能:燈絲功率監(jiān)控可提前通知燈絲壽命
可連接不同量程的接點(diǎn):采用多離子規(guī),可根據(jù)應(yīng)用選擇接點(diǎn)。
緊湊:比傳統(tǒng)產(chǎn)品小得多(控制器體積減少 56%),最小的級別
擴(kuò)充產(chǎn)品陣容:除了模擬輸出規(guī)格(ST200-A)和串行通信規(guī)格(ST200-R)之外,還將增加EtherCAT規(guī)格(ST200-E)
世界三極管型金屬電離真空計(jì):真空計(jì)即使在惡劣環(huán)境下也能實(shí)現(xiàn)長壽命
壓力測量范圍廣:可測量從大氣壓到高真空范圍(1×10 +5至 1×10 -5 Pa)(連接選購件 SWU10-R 時)
精確的大氣壓測量:可以檢查腔室開口的大氣壓(連接可選單元 SAU 時)
用途
用于有機(jī)EL、觸控面板等制造設(shè)備的極限壓力確認(rèn)和過程控制
用于檢查真空爐等各種工業(yè)真空設(shè)備的極限壓力
用于在含有許多碳?xì)浠衔铮ㄓ突┑拇髿庵羞M(jìn)行測量
用于在真空部件加工過程中殘留切削油或清潔液的環(huán)境中進(jìn)行測量
用于希望減少更換真空計(jì)測針頻率的真空設(shè)備
日本ulvac熱陰極電離真空計(jì) ST200-A/R/E
規(guī)格
模型 | ST200-A | ST200-R | ST200-E(即將發(fā)布) | |
規(guī)格 | 標(biāo)準(zhǔn)規(guī)格 | 串行通信規(guī)范 | EtherCAT 規(guī)格 | |
自適應(yīng)多離子規(guī)傳感器 | SWT-16(NW16)、SWT-25(NW25) | |||
可連接傳感器 | 多離子規(guī)傳感器:1 個 皮拉尼規(guī) SWU10-R:1 個(選項(xiàng)) 大氣壓傳感器 SAU:1 個(選項(xiàng)) | |||
重復(fù)性 (N 2 ) | ST200 獨(dú)立模式:±2% | |||
采樣時間 | 60ms 5次移動平均處理 | |||
測量值輸出 | 輸出電壓 DC 0 至 10V LOG 輸出 0.75V/1 位 壓力轉(zhuǎn)換公式 V=7.25+0.75×(LogP-2) P=10^ | |||
更新時間 | 60毫秒 | |||
控制輸入信號 | 使用 FIL ON/OFF、FIL 1/2、DEGAS ON/OFF 集電極開路輸入、負(fù)邏輯運(yùn)行 | - | - | |
控制輸出信號 | 傳感器錯誤,設(shè)定點(diǎn) 1/2/3,發(fā)射有效, 燈絲功率監(jiān)控 額定值:24V MAX,50mA MAX,飽和電壓 1V | - | - | |
串行通信規(guī)范 | - | RS232C/RS-485 | EtherCAT | |
LED顯示屏 | POWER/ERROR:電源、錯誤 LED(閃爍狀態(tài)根據(jù)每種模式而變化) | |||
發(fā)射電流 | 2mA(1×10 -2 Pa以下)、10μA(1×10 -2 Pa以上) | |||
脫氣 | 電子轟擊法,發(fā)射電流2mA,柵極電壓約330V | |||
傳感器耐壓 | 2×10 +5 Pa(絕對壓力) *法蘭和卡箍的承受壓力必須單獨(dú)考慮。 | |||
傳感器內(nèi)部容積 | 17cm3 ( SWT-16)、19cm3 ( SWT-25) | |||
工作溫度限制 | 10 至 50°C | |||
工作濕度范圍 | 15 至 80%(無冷凝) | |||
貯存溫度 | -20 至 65°C(未通電時無冷凝) | |||
知識產(chǎn)權(quán)保護(hù)等級 | IP30 | |||
電源電壓 | 20 至 28 VDC(紋波、噪聲 1% 或更低) 8W以下 | |||
輸入/輸出連接器 | D-sub 15針(M2.6螺絲) | |||
大量的 | 控制器:約 280g 觸控筆(SWT-16、SWT-25):80g | |||
尺寸 W×D×H | 69mm×63mm×90mm(控制器部分) | |||
符合標(biāo)準(zhǔn) | 行政長官 | |||
選項(xiàng) | 多離子計(jì)傳感器 | SWT-16 (NW16)、SWT-25 (NW25) 材質(zhì):燈絲:Ir/Y 2 O 3涂層 其他:PtC-Mo、SUS304、W、可伐玻璃、可伐/鎳鍍層 | ||
皮拉尼規(guī) | SWU10-R *也兼容傳統(tǒng) SPU | |||
皮拉尼壓力傳感器 | SWP-16(NW16)、SWP-25(NW25)、SWP-R1/8(R1/8)、SWP-P18(Φ18管端)、SWP-P15(Φ15管端)、SWP-CF16(ICF034) 材質(zhì): 燈絲 - Pt, 其他 - BS/Ni, 電鍍, Ni, 焊料 | |||
大氣壓傳感器 | SAU(NW16) 材質(zhì):SUS316L | |||
單元電纜 | GUC-200P(SWU用):0.5m、1m、2m GUC-200A(SAU用):0.5m、1m、2m | |||
顯示單元 | 1CH:ISG1(使用DC24V供電) | |||
顯示單元電纜 | SH200 和顯示單元之間的電纜 2m, 5m, 10m, 15m, 20m, 25m, 30m, 35m, 40m | |||
連接器 | 輸入/輸出連接器(D-sub15-socket(M2.6mm螺絲)) | |||
其他 | 檢驗(yàn)報(bào)告、一般校準(zhǔn)測試報(bào)告、JCSS校準(zhǔn)證書 | |||