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日本ulvac熱陰極電離真空計(jì)SH200-A/R/E

訪問次數(shù):1163

更新日期:2024-03-22

簡(jiǎn)要描述:

日本ulvac熱陰極電離真空計(jì)SH200-A/R/E
可連接不同量程的接點(diǎn):采用多離子規(guī),可根據(jù)應(yīng)用選擇接點(diǎn)。

日本ulvac熱陰極電離真空計(jì)SH200-A/R/E

日本ulvac熱陰極電離真空計(jì)SH200-A/R/E

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這是一個(gè)新系列的換能器型真空計(jì)“G-TRAN系列多離子計(jì)",可以連接不同測(cè)量范圍的探針。本產(chǎn)品為BA型電離真空計(jì),可測(cè)量超高真空。在繼承傳統(tǒng)壓力測(cè)量范圍寬、運(yùn)行成本低的理念的同時(shí),我們對(duì)其進(jìn)行了改進(jìn),使其更加人性化。

特征

  • 可連接不同量程的接點(diǎn):采用多離子規(guī),可根據(jù)應(yīng)用選擇接點(diǎn)。

  • 緊湊:比傳統(tǒng)產(chǎn)品小得多(控制器體積減少 56%),最小的級(jí)別

  • 提高可用性:PC/智能手機(jī)連接可實(shí)現(xiàn)設(shè)定點(diǎn)設(shè)置、狀態(tài)確認(rèn)等。

  • 產(chǎn)品陣容增強(qiáng):除了模擬輸出規(guī)格(SH200-A)和串行通信規(guī)格(SH200-R)之外,還將增加EtherCAT規(guī)格(SH200-E)

  • 燈絲壽命通知功能:燈絲功率監(jiān)控可提前通知燈絲壽命

  • 壓力測(cè)量范圍廣:可測(cè)量從大氣壓到高真空范圍(1 x 10 +5至 5 x 10 -8 Pa)(連接可選單元 SWU10-R 時(shí))

  • 精確的大氣壓測(cè)量:可以檢查腔室開口的大氣壓(連接可選單元 SAU 時(shí))

用途

  • 用于半導(dǎo)體和電子元件等各種制造設(shè)備的高真空區(qū)域的過程控制

  • 用于檢查具有許多工藝室的各種制造設(shè)備的高真空區(qū)域的極限壓力,例如在線和單晶片系統(tǒng)。

  • 用于高真空/超高真空設(shè)備的壓力測(cè)量

日本ulvac熱陰極電離真空計(jì)SH200-A/R/E

規(guī)格

模型SH200-ASH200-RSH200-E(預(yù)定發(fā)布)
規(guī)格標(biāo)準(zhǔn)規(guī)格串行通信規(guī)范EtherCAT 規(guī)格
自適應(yīng)多離子規(guī)傳感器M-44(NW16)、M-45(NW25)、M-46(ICF070)
可連接傳感器多離子規(guī)傳感器:1 個(gè)
皮拉尼規(guī) SWU10-R:1 個(gè)(選項(xiàng))
大氣壓傳感器 SAU:1 個(gè)(選項(xiàng))
重復(fù)性 (N 2 )SH200 獨(dú)立模式:±2%
采樣時(shí)間60ms 5次移動(dòng)平均處理
測(cè)量值輸出輸出電壓 DC 0 至 10V LOG 輸出 0.75V/1 位
壓力轉(zhuǎn)換公式 V=7.25+0.75×(LogP-2) P=10^
更新時(shí)間60毫秒
控制輸入信號(hào)使用 FIL ON/OFF、FIL 1/2、DEGAS ON/OFF
集電極開路輸入、負(fù)邏輯
操作 * FIL ON/OFF 信號(hào)使用因模式而異
--
控制輸出信號(hào)傳感器錯(cuò)誤,設(shè)定點(diǎn) 1/2/3,發(fā)射有效,
燈絲功率監(jiān)控
額定值:24V MAX,50mA MAX,飽和電壓 1V
--
串行通信規(guī)范-RS232C/RS-485EtherCAT
LED顯示屏POWER/ERROR:電源、錯(cuò)誤 LED(閃爍狀態(tài)根據(jù)每種模式而變化)
SET1:設(shè)定點(diǎn)1 LED 
SET2:設(shè)定點(diǎn) 2LED 
SET3:設(shè)定點(diǎn) 3LED
--
發(fā)射電流1mA(1×10 -3 Pa以下)、10μA(1×10 -3 Pa以上)
脫氣電子轟擊法(電子轟擊)1mA,330V
傳感器耐壓2×10 +5 Pa(絕對(duì)壓力) *法蘭和卡箍的承受壓力必須單獨(dú)考慮。
傳感器內(nèi)部容積17cm3  M-44)、19cm3  M-45)、17cm3  M-46)
工作溫度限制10 至 50°C
工作濕度范圍15 至 80%(無(wú)冷凝)
貯存溫度-20 至 65°C(未通電時(shí)無(wú)冷凝)
知識(shí)產(chǎn)權(quán)保護(hù)等級(jí)IP30
電源電壓20 至 28 VDC(紋波、噪聲 1% 或更低)、8 W 或更低
輸入/輸出連接器D-sub 15針(M2.6螺絲)
大量的控制器:約 280g 探頭(M-44,M-45):80g,(M-46):300g
尺寸 W×D×H69mm×63mm×90mm(控制器部分)
符合標(biāo)準(zhǔn)行政長(zhǎng)官
選項(xiàng)



多離子計(jì)傳感器M-44(NW16)、M-45(NW25)、M-46(ICF070)
材質(zhì):燈絲 1,2 -Ir/Y 2 O 3涂層
其他:PtC-Mo、SUS304、W、Kovar glass、Kovar/Ni電鍍
皮拉尼規(guī)SWU10-R *也兼容傳統(tǒng) SPU
皮拉尼壓力傳感器SWP-16(NW16)、SWP-25(NW25)、SWP-R1/8(R1/8)、SWP-P18(Φ18管端)、SWP-P15(Φ15管端)
材質(zhì):燈絲-Pt,其他- BS/Ni、電鍍、鎳、焊料
大氣壓傳感器SAU(NW16) 材質(zhì):SUS316L
單元電纜GUC-200P(SWU用):0.5m、1m、2m 
GUC-200A(SAU用):0.5m、1m、2m
顯示單元1CH:ISG1(使用DC24V供電)
顯示單元電纜SH200 和顯示單元之間的電纜
2m, 5m, 10m, 15m, 20m, 25m, 30m, 35m, 40m
連接器輸入/輸出連接器(D-sub15-socket(M2.6mm螺絲))
其他檢驗(yàn)報(bào)告、一般校準(zhǔn)測(cè)試報(bào)告、JCSS校準(zhǔn)證書





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